激光回饋效應及其傳感應用研究的進展

對基于激光回饋效應的傳感應用研究進展進行了綜述.由于激光回饋引起激光器功率波動一個條紋對應外部反射鏡移動半個光波波長,功率波動深度與傳統(tǒng)雙光束干涉系統(tǒng)相當,基于該現(xiàn)象的激光回饋干涉儀與傳統(tǒng)的干涉儀相比具有相同的相位靈敏度.但其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、易準直的特點,引起了國內(nèi)外科研者濃厚的興趣,開發(fā)了很多全新概念、經(jīng)濟實用的精密測量儀器.對激光回饋效應在位移測量、速度測量、振動測量、距離測量、角度測量和形貌測量中的原理進行了介紹,同時對各傳感應用系統(tǒng)進行了評述.

作 者： 毛威 張書練 張連清 朱鈞 李巖 MAO Wei ZHANG Shu-lian ZHANG Lian-qing ZHU Jun LI Yan   作者單位： 清華大學,精密測試技術(shù)與儀器國家重點實驗室,北京,100084  刊 名： 光學技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2007 33(1)  分類號： O4  關(guān)鍵詞： 激光回饋   自混合干涉   位移測量   速度測量   振動測量   距離測量   角度測量   形貌測量  

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